分析事業
微小異物分析について
SEM-EDS の分析例
試料：アルミナ基板中の異物
反射電子顕微鏡写真（ＢＥＩ）
２次電子顕微鏡写真（ＳＥＩ）
分析方法
電子顕微鏡装置による白湯付着物の観察
ＥＤＳによる付着物の元素分析、ＺＡＦ法による定量解析をした後，主な元素についての面分析を行いました。
分析結果
元素分析結果
ＺＡＦ法による定量結果
元素
(KeV)
質量%
誤差%
原子数%
化合物
質量%
K
C K
0.277
14.96
0.33
23.16
2.7144
O K
0.525
42.38
0.23
49.28
54.7832
Mg K
*
1.253
0.22
0.12
0.17
0.1832
Al K
1.486
36.51
0.10
25.17
35.5420
Si K
*
1.739
0.70
0.16
0.46
0.5102
Cr K
*
5.411
1.08
0.27
0.39
1.3016
Fe K
*
6.398
3.73
0.33
1.24
4.4545
Ni K
*
7.471
0.43
0.50
0.14
0.5109
合計
100.00
100.00
面分析結果
試料名：アルミナ基板上の異物 分析元素：Ｏ.Ａｌ.Ｆｅ.Ｃｒ.Ｎｉ
Ｘ線強度 面積比（％）
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